ელექტრონული სხივის აორთქლების მეთოდი არის ერთგვარი ვაკუუმური აორთქლების საფარი, რომელიც იყენებს ელექტრონის სხივებს ვაკუუმის პირობებში აორთქლების მასალის პირდაპირ გასათბობად, აორთქლების მასალის აორთქლებასა და სუბსტრატში გადასატანად და სუბსტრატზე კონდენსაციისთვის თხელი ფილმის შესაქმნელად. ელექტრონული სხივის გამათბობელ მოწყობილობაში გაცხელებული ნივთიერება მოთავსებულია წყლის გაცივებულ ჭურჭელში, რომელსაც შეუძლია თავიდან აიცილოს რეაქცია აორთქლების მასალასა და ჭურჭლის კედელს შორის და იმოქმედოს ფირის ხარისხზე. მოწყობილობაში შეიძლება განთავსდეს მრავალი ჭურჭელი, რათა მოხდეს სხვადასხვა ნივთიერების ერთდროული ან ცალკეული აორთქლება და დეპონირება. ელექტრონული სხივის აორთქლებით, ნებისმიერი მასალის აორთქლება შესაძლებელია.
ელექტრონული სხივის აორთქლებამ შეიძლება აორთქლოს მაღალი დნობის წერტილის მასალები. საერთო წინააღმდეგობის გათბობის აორთქლებასთან შედარებით, მას აქვს უფრო მაღალი თერმული ეფექტურობა, უფრო მაღალი სხივის დენის სიმკვრივე და უფრო სწრაფი აორთქლების სიჩქარე. ფილმი და ფილმი სხვადასხვა ოპტიკური მასალისგან, როგორიცაა გამტარი მინა.
ელექტრონული სხივის აორთქლების მახასიათებელია ის, რომ ის არ ან იშვიათად ფარავს სამიზნის სამგანზომილებიანი სტრუქტურის ორ მხარეს და, როგორც წესი, მხოლოდ დეპოზიტდება სამიზნე ზედაპირზე. ეს არის განსხვავება ელექტრონის სხივის აორთქლებასა და ცურვას შორის.
ელექტრონული სხივის აორთქლება ჩვეულებრივ გამოიყენება ნახევარგამტარების კვლევისა და მრეწველობის სფეროში. აჩქარებული ელექტრონის ენერგია გამოიყენება მატერიალურ სამიზნეზე დასარტყმელად, რაც იწვევს მატერიალური სამიზნის აორთქლებას და აწევას. საბოლოოდ დეპონირებულია სამიზნეზე.
გამოქვეყნების დრო: დეკ-02-2022